四探針電阻率方塊電阻測試儀注意事項：

　　1、儀器操作前請您仔細(xì)閱讀使用說明書，規(guī)范操作

　　2、輕拿輕放，避免儀器震動，水平放置，垂直測量

　　3、儀器不使用時請切斷電源，連接線無需經(jīng)常拔下，避免灰塵進(jìn)入航空插引起短接等現(xiàn)象

　　4、探針筆測試結(jié)束，套好護(hù)套，避免人為斷針

　　本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。

四探針電阻率方塊電阻測試儀

一、適用范圍

四端測試法是目前較*之測試方法，主要針對高精度要求之產(chǎn)品測試；本儀器廣泛用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電導(dǎo)率單位自動選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測試儀自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成圖表和報表。

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、壓強(qiáng)值、單位自動換算，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.

提供中文或英文兩種語言操作界面選擇，滿足國內(nèi)及國外客戶需求

二、電阻測量范圍： 
1、電阻率： 1×10-6～2×106Ω.cm、

電   阻：1×10-5～2×105Ω

電導(dǎo)率：5×10-6～1×108ms/cm

分辨率：  最小1μΩ
測量誤差±5%
2、測量電壓量程： 2mV   20mV  200mV 2V 
   測量精度±（0.1%讀數(shù)）

分辨率：  0.1uV  1uV  10uV  100uV
3、⑴電流輸出：直流電流 0～1000mA 連續(xù)可調(diào)，由交流電源供電。
   ⑵量程：1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，1000mA, 
   ⑶誤差：±0.2%讀數(shù)±2字

4. 主機(jī)外形尺寸：330mm*350mm*110mm

5、顯示方式：液晶顯示6、電源：220±10% 50HZ/60HZ

7、標(biāo)配：測試平臺一套、主機(jī)一套、電源線數(shù)據(jù)線一套。

導(dǎo)電電阻率測試儀功能介紹：本儀器采用四端測量法適用于碳素粉末廠、焦化廠、石化廠、粉末冶金廠、高等院校、科研部門，是檢驗和分析粉末樣品質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示電阻值、電阻率、電導(dǎo)率值、溫度、壓強(qiáng)值、單位自動換算，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.使用薄膜按鍵開關(guān)面板，操作簡單，耐用，符合人體工學(xué)操作規(guī)范. 提供中文或英文兩種語言操作界面

導(dǎo)電電阻率測試儀滿足：YST 587.6-2006 炭陽極用煅后石油焦檢測方法 第6部分 粉末電阻率的測定

配置手動粉末測試裝置也可以（選購）自動粉末測試裝置，測試粉末時可以通過裝置獲得粉末壓實后高度、直徑、壓強(qiáng)等數(shù)據(jù)，輸入儀器后自動計算出所需數(shù)據(jù).能方便解決粉末及顆粒物料電阻、電阻率及電導(dǎo)率測量需求，經(jīng)濟(jì)實惠，功能突出，設(shè)計合理，是粉末行業(yè)理想之測試儀器.

BEST-300C導(dǎo)電材料電阻率測定儀

按照硅片電阻率測量的國際標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計制造該儀器設(shè)計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)，本機(jī)配置232電腦接口及USB兩種接口，本機(jī)采用范德堡測量原理能改善樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對測量結(jié)果的影響及誤差，比市場上其他普通的四探針測試方法更加完善和進(jìn)步,特別是方塊電阻值較小的產(chǎn)品測量，更加準(zhǔn)確.

本儀器本儀器采用四探針單電測量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，運(yùn)輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成報表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購

維護(hù)和保養(yǎng)

1 .使用者的維護(hù)

為了防止意外發(fā)生，請不要接觸機(jī)內(nèi)部件。本機(jī)器內(nèi)部所有的零件，絕對不需使用者的維護(hù)。如果機(jī)器有異常情況發(fā)生，請直接與瑞柯儀器公司廠家聯(lián)系或其的經(jīng)銷商給予維護(hù)。

2. 使用者的修改

使用者不得自行更改機(jī)器的線路或零件，如被更改機(jī)器后保修則自動失效并且本公司不負(fù)任何事故責(zé)任。在保修內(nèi)使用未經(jīng)我公司認(rèn)可的零件或附件造成故障也不予保證。如發(fā)現(xiàn)送回檢修的機(jī)器被更改，將機(jī)器的電路和零件修復(fù)回原來設(shè)計的狀態(tài)，并收取修護(hù)費用。

3.測試工作站

3.1工作位置

工作站的位置選擇必須安排在一般人員非必經(jīng)的處所，使非工作人員選離工作站。如果因為條件限制的安排而無法做到時，必須將工作站與其這它設(shè)施隔開并且特別標(biāo)明“測試工作站"。如果工作站與其它作業(yè)站非常接近時，必須特別注意安全的問題。在測試時必須標(biāo)明“測試執(zhí)行中，非工作人員請勿靠近"

4.輸入電源

輸入：220V±10%  使用頻率：50Hz

4.3.3工作場所

盡可能使用非導(dǎo)電的工作桌工作臺。操作人員和待測物之間不得使用任何金屬。操作人員的位置不得有跨越待測物去操作或調(diào)整測試儀器的現(xiàn)象。測試場所必須隨時保持整齊、干凈，不得雜亂無章。測試站及其周邊之空氣中不能含有可燃?xì)怏w或在易燃物質(zhì)。

4.3.4人員資格

本儀器為精密儀器，必須由訓(xùn)練合格的人員使用和操作。

4.3.5安全守則

操作人員必須隨時給予教育和訓(xùn)練，使其了解各種操作規(guī)則的重要性，并依安全規(guī)則操作。

4.3.6衣著規(guī)定

操作人員不可穿有金屬裝飾的衣服或戴金屬手飾和手表等，這些金屬飾物很容易造成意外的感電。

4.3.7醫(yī)學(xué)規(guī)定

絕對不能讓有心臟病或配戴心律調(diào)整器的人員操作。

4.4測試安全程序規(guī)定

一定要按照規(guī)定程序操作。操作人員必須確定能夠*自主掌控各部位的控制開關(guān)和功能。

4.5安全要點

● 非合格的操作人員和不相關(guān)的人員應(yīng)遠(yuǎn)離測試區(qū)。

● 萬一發(fā)生問題，請立即關(guān)閉電源并及時處理故障原因。

1.使用前期準(zhǔn)備--測試前準(zhǔn)備工作：

1.1.開機(jī)預(yù)熱：將220V電源插頭插入電源插座，打開電源開關(guān)，讓儀器預(yù)熱15分鐘，保證測試數(shù)據(jù)穩(wěn)定。若測試儀無常啟動，請按以下步驟檢查：

①檢查電源線是否接觸良好；

②檢查后面板上的電源開關(guān)是否已經(jīng)打開

③檢查保險絲是否熔斷，如有必要，請更換保險絲

④ 如經(jīng)上述檢查無誤后，測試儀仍未正常啟動，請聯(lián)系本公司進(jìn)行解決。

1.2.準(zhǔn)備好被測物，鏈接好測試探頭，把測試探頭接口與主機(jī)接口相連接，并鎖定，防止松動或接觸不良而對測試結(jié)果造成影響.

1.3.接通電源，開啟電源開關(guān)，待儀器液晶顯示屏上顯示出廠家和產(chǎn)品信息后，如圖3，按“顯示"鍵進(jìn)入，

1.4.進(jìn)入測試功能界面如圖4、圖5；如測試方阻時，請選擇液晶顯示屏又側(cè)對應(yīng) 的功能按鍵“方阻"，則進(jìn)入方阻測試界面；如測試其他材料時，請選擇“材料"則進(jìn)入材料電阻，電阻率，電導(dǎo)率測試儀界面。

1.5.設(shè)置好被測物所需之參數(shù)，把被測物放于測試治具平臺上操作，測試完畢直接顯示測試數(shù)據(jù)。如配置軟件，軟件操作說明書同安裝軟件在一起，請注意查看操作步驟.

以下分別講解方阻和材料測試的設(shè)置

2.四探針方阻測試步驟

2.1.上述步驟中1項，使用前期準(zhǔn)備

2.2 把被測物測試所需要之參數(shù)數(shù)據(jù)設(shè)定：

2.2.1依據(jù)不同之測試樣品，選擇被測試電流，電流設(shè)置：按方向鍵移動光標(biāo)至“電流"功能，按“設(shè)置"鍵進(jìn)入；再按“左右"方向鍵選擇電流數(shù)據(jù)，選擇完畢后按“確定"鍵進(jìn)行確認(rèn)。按照以上步驟和方法選擇電壓、長度單位、探針形狀設(shè)定、溫度.

2.2.2.探針間距數(shù)據(jù)的輸入，探針間距出廠時已經(jīng)標(biāo)定，無需再次測量，探針頭上有詳細(xì)的探針數(shù)據(jù)資料，探針間距的設(shè)置：將光標(biāo)移動至“探針間距"按“設(shè)置"鍵進(jìn)入，通過面板上面的“數(shù)字"按鍵輸入數(shù)據(jù)按“確定"鍵進(jìn)行確認(rèn)；按照以上方法和步驟設(shè)定"厚度“，注意厚度和探針間距修正系數(shù)表已經(jīng)設(shè)置在儀器程序中，自動修正，無需再次輸入和查詢表格。

2.3.測試探頭和測試平臺操作

選配測試平臺的將被測物放在測試平臺上，調(diào)節(jié)探頭探針與樣品良好接觸，探頭有二種，一種是探針是彈簧針型，一種是硬針而探頭內(nèi)腔有彈簧；探頭有方型和直線型兩種結(jié)構(gòu)；調(diào)節(jié)測試平臺上的水平定位角，保證水平儀水準(zhǔn)在中心位置；放置好被測物品，后壓下探頭至被測物，帶數(shù)據(jù)穩(wěn)定后讀取

材料電阻測試步驟：

操作步驟及流程

3.1.本機(jī)可以依據(jù)不同測試產(chǎn)品選擇配置不同的測試治具，以下舉例操作說明

3.1.1.在開機(jī)界面按下按鍵板上的“顯示"鍵，進(jìn)入測量界面。如圖1

3.1.2 如圖2，在液晶顯示屏右側(cè)有4個藍(lán)色功能按鍵，當(dāng)測材料電阻率時，請選擇 “材料"按鍵 ，進(jìn)入材料測試主界面.  

3.1.3.在該界面下通過按下按鍵板上的上下左右鍵，可以移動藍(lán)色光標(biāo)選擇相應(yīng)的參數(shù)。如圖2，將移動到某一參數(shù)的位置，按下“設(shè)置"鍵，光標(biāo)將變?yōu)樯钏{(lán)色。此時通過上下左右鍵和數(shù)字鍵可以對相應(yīng)的參數(shù)進(jìn)行設(shè)置，設(shè)置完畢后按“確定"鍵返回。

3.1.4.如圖3接線方式，把主機(jī)與夾具連接線，連接好并固定住，

3.1.5.取試樣，試樣試驗前的處理依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行，

3.1.6.把樣品放于固定治具夾口內(nèi)，把HD和LD接口分別與治具接口連接（不分順序）如圖3；另外兩個接口與探頭接線位置連接，后，放入被測樣品，輸入高度數(shù)據(jù)（為探針之間的間距），其他數(shù)據(jù)為樣品本身尺寸。

3.1.7.試樣固定住后，加壓探頭探針至被測樣品表面，帶數(shù)據(jù)穩(wěn)定后讀數(shù).

3.1.8. 按下“放大"鍵對應(yīng)的按鍵可以對當(dāng)前界面的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行放大

3.1.9. 待參數(shù)設(shè)置完畢，開始測量，把測試獲得的數(shù)據(jù)寫入試驗報告中

3.1.10.以下設(shè)置和功能屬于配置操作軟件機(jī)型使用，如您購買的無電腦操作軟件的話，請勿設(shè)置.

3.1.11.接口：可選擇“USB"和“232"兩種模式。根據(jù)用戶使用的接口類型進(jìn)行選擇。

測試功能：可選擇：“RρK"（顯示電阻，電阻率，電導(dǎo)率），“R"（只顯示電阻），“ρ"（只顯示電阻率，“K"（只顯示電導(dǎo)率）3種顯示模式。

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